朗道燧岩 EUV 光源系统样机亮相 2026 工博会，国产化率达 90%，距量产仍需 3 至 5 年

朗道燧岩在2026年工博会上首次展示国产极紫外（EUV）光源系统样机，国产化率达90%，可用于芯片曝光测试。该样机已验证技术路线，但受输出功率和长期稳定性限制，距离量产仍需3至5年。

来源：IT之家