惠然微电子董事长王志刚表示，CD-SEM是晶圆和光掩模工艺闭环控制的关键量测设备，公司正推进相关设备从验证走向量产放行，并已填补国内22nm光掩模专用电子束量测设备空白。未来量测技术将融合光学、电子束、X射线与AI算法，国产电子束装备应通过核心部件自主化、成熟制程导入和软硬件协同实现差异化突围。
来源：腾讯新闻
惠然微电子董事长王志刚表示，CD-SEM是晶圆和光掩模工艺闭环控制的关键量测设备，公司正推进相关设备从验证走向量产放行，并已填补国内22nm光掩模专用电子束量测设备空白。未来量测技术将融合光学、电子束、X射线与AI算法，国产电子束装备应通过核心部件自主化、成熟制程导入和软硬件协同实现差异化突围。
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